高效過濾器檢漏方法比較

瀏覽次數：422發布日期：2022-01-25

方法	參考標準	優點	缺點	適用范圍
光度計掃描法-PAO法	GB50591-2010 ISO14644-3	1、簡單易學，判斷標準0.01%易懂， 2、對背景環境的要求沒有計數器法高，瞬時讀數。	1、發塵量大，對過濾器有一點污染 2、過濾器安裝需要留有檢漏口，適用于新建廠房	適合與HEPA,不適合ULPA 光度計，只能針對油類氣溶膠
大氣塵檢漏法（粒子計數器法）	GB50591-2010 潔凈室施工及驗收規范	不需要人為發塵，對過濾器幾乎沒有污染。	對背景要求高，環境潔凈度對檢漏結果有影響	氣溶膠對產品有污染的地方，如特定電子廠。
粒子計數掃描法	ISO14644-3潔凈室及相關受控環境	發塵量，污染少。可直接顯示顆粒粒徑。漏點值表達明確。	新方法；對背景環境有要求高；操作難度規范性高。	適用于HEPA及ULPA 適用于油類/固體類氣溶膠

DPC-H高效檢漏儀.jpg

高效過濾器檢漏計數法

高效過濾器PAO檢漏

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